回收ITO靶材

一、金属靶材为薄膜沉积核心材料，广泛用于平板显 示器、半导体、光伏电池、记录媒体等领域
（一）分类方式：按应用可分为半导体靶材、平板显示靶材、 太阳能电池靶材、记录存储靶材等
靶材按应用可分为半导体靶材、平板显示靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材。靶材制备位于 产业链的中游，从产业链来看，靶材上游原材料材质主要包括**属、合金以及陶瓷化合物三类。下游应用市场则较为广泛，但整体来看主要集中在平板显示、信息存储、太阳能电池、半导体四 个领域，四大板块约合占比 97%。
此外根据其形状、材质不同，溅射靶材也有多种分类方式：
1） 按形状分类：可分为长靶、方靶、圆靶和管靶。其中常见的靶材多为方靶、圆靶，均为实心 靶材。近年来，空心圆管型溅射靶材由于具有较高的回收利用率，也在国内外得到了一定推 广。据立坤钛业官网相关信息介绍，在镀膜作业中，圆环形的永磁体在靶材的表面产生的磁 场为环形，会发生不均匀冲蚀现象，溅射的薄膜厚度均匀性不佳，靶材的使用效率大约只有 20%～30%。目前，为了提高靶材的利用率，国内外都在推广可围绕固定的条状磁铁组件旋转的空心圆管型溅射靶材，此种靶材由于靶面 360°都可被均匀刻蚀，因而利用率可由通常 的 20%～30%提高到 75%～80%。
2）按材质，可分为金属靶材（**属铝、钛、铜、钽等）、合金靶材（镍铬合金、镍钴合金 等）、陶瓷化合物靶材（氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等）。
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